1. 産品簡介

　　激光幹涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家标準，是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器，在高端制造領域應用廣泛。

　　SJ6000激光幹涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，産品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗幹擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速幹涉信号采集、調理及細分技術，可實現最高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

　　SJ6000激光幹涉儀具有測量精度高、測量範圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光幹涉儀動态測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動态測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動态分析，如振動分析、絲杆導軌的動态特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

2.産品配置

　　SJ6000激光幹涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉台。

　　其中，線性鏡組為标配，由線性幹涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重複定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

二.工作原理

　　激光器發射單一頻率光束射入線性幹涉鏡，然後分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新彙聚之後返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的幹涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性幹涉的兩極之間找到穩定的信号。

　　若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性幹涉的兩極之間找到變化信号，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

 

三. 産品功能特點

　　SJ6000激光幹涉儀以幹涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗幹擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；幹涉鏡與主機分離設計，避免幹涉鏡受熱影響，保證幹涉光路穩定可靠。

  ● 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

  ● 可檢測數控機床、三坐标測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重複定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

  ● 可實現龍門機床雙軸同步測量；

  ● 可實現對機床回轉軸的測量與校準；

  ● 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

  ● 具有動态測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲杆導軌的動态特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

  ● 支持手動或自動進行環境補償。

  ●  友好的人機界面；

  ●  豐富的應用功能模塊；

  ●  向導式的操作流程；

  ●  簡潔化的記錄管理；

  ●  支持中文、英文和俄文界面；

         ● 支持企業專屬模闆定制。

四. 技術指标

4.1. 技術指标

 系統性能

    1、測量方式：單頻

    2、穩頻精度：0.05ppm

    3、動态采集頻率：50 kHz

    4、預熱時間：5-10分鐘

    5、工作溫度範圍：0~40℃

    6、環境溫度範圍：0~40℃

       7、存儲溫度範圍：-20℃~70℃

 環境補償示值誤差

    1、空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

        2、材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

    3、空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

    4、大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

 

   線性測量

    1、測量距離：0-40m

    2、測量精度：0.5ppm (0-40℃)

    3、測量分辨率：1nm

    4、測量最大速度：4m/sec

 

   角度測量

    1、軸向量程：0-15m

    2、測量範圍：±10°

    3、測量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）

    4、測量分辨率：0.1μm/m

 

   直線度測量

    1、軸向量程：0.1-4.0 m

    2、測量範圍：±2.5 mm

    3、測量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學鏡移動距離，單位：m）

    4、測量分辨率：0.01μm

 

   垂直度測量

    1、測量範圍：±3/M mm/m

    2、測量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）

    3、測量分辨率：0.01μm/m

 

   平面度測量

    1、軸向量程：0-15 m

    2、測量範圍：±1.5 mm

    3、測量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）

    4、測量分辨率：0.1μm

 

   回轉軸分度精度測量

    1、角度測量範圍：0-360°

    2、精密轉台角度增量：5°

    3、精密轉台分度精度：±1秒

    4、精密轉台重複性：0.2秒

 

4.2. 尺寸重量與供電

    便攜箱尺寸：560×360×250（基礎系統），560×460×270（完整系統）

    基本重量(含三腳架，包裝)：15Kg

    供電電源：110~265VAC

 

 5. 系統組件

5.1. 系統組件

1) SJ6000主機：1台

2) 環境補償單元：1台

3) 光學鏡組：

線性測量光學鏡組：1套（标準配置）

小型線性光學鏡組：1套（标準配置）

      小角度測量光學鏡組：1套（選配）

      直線度測量光學鏡組：1套（選配）

      垂直度測量光學鏡組：1套（選配）

      平面度測量輔助附件：1套（選配）

回轉軸測量精密轉台：1套（選配）

4) 測量軟件：1套

5) 便攜式筆記本電腦：1台

6) 便攜式儀器配件箱：1個

7) 通用三腳架：1個

8) 雲台附件：1套

9) 磁性表座：2套

10)  産品使用說明書：1套

11)  産品合格證、保修卡：1套

12)  免費保修：1年