用途：

測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與奈米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該産品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統，可人工觀察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該産品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業領域。

特點：

1. Z軸光學尺分辨力為0.1μm

2. X、Y軸採用空氣軸承、花崗石導向，保證了機械系統的精确穩定，提高了測量精度

3. X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高、速度快，運行平穩

4. 同軸光/底光測量

5. 内建偏光測量光學模塊

6. 自主開發QMS3D-M軟體，高清晰進口1/2"彩色攝像機

7. 可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，可适應複雜工件的測量

8. 可實現Z軸自動對焦

9. 具有偏光和DIC檢測功能

10. 可搭配白光奈米檢測模塊測量奈米級厚度

技術規格參數：

型号		MTM-6090H
工作台	玻璃台尺寸(mm)	1070 x 640
	X、Y軸運動行程(mm)	600 x 900
Z軸行程(mm)		200
外形尺寸(mm)		1800 x 1350 x 1450
儀器重量(kg)		1500
X、Y軸光學尺分辨力(μm)		0.5
Z軸光學尺分辨力(μm)		0.1
示值誤差(μm)		E1XY=( 2.5+ L/200) μm  (L為測量長度，單位mm)
物鏡放大倍數誤差		包括畸變在内的放大率誤差≦0.08%
落射照明光源		可調高亮度鹵素燈
底光照明光源		可調高亮度LED燈源
		目視系統	影像系統
物鏡放大倍數		5X、10X、20X、50X(可選配100X)	5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡
目鏡放大倍數		10X雙鏡筒	1/2”CCD攝像機
視頻總倍率		50X ~500X	142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900)